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風淋式傳遞窗在半導體行業中的潔凈要求

風淋式傳遞窗在半導體行業中的潔凈要求

時間:2024-12-4 編輯:傳遞窗工程師

風淋式傳遞窗在半導體行業中的潔凈要求
在半導體行業中,生產環境的潔凈度是至關重要的。這是因為半導體產品的制造過程對塵埃、細菌等污染物的容忍度極低,任何微小的污染物都可能導致產品性能下降甚至報廢。風淋式傳遞窗作為一種高效潔凈設備,在半導體行業中的應用越來越廣泛。本文將探討風淋式傳遞窗在半導體行業中的潔凈要求。

風淋式傳遞窗在半導體行業中的潔凈要求

一、潔凈度標準
半導體行業的潔凈度標準通常以每立方米空氣中含有的塵埃粒子數量來衡量。根據國際半導體產業協會(SEMI)的規定,不同等級的潔凈室塵埃粒子濃度如下:
1級潔凈室:每立方米空氣中塵埃粒子數量不超過1000個;
10級潔凈室:每立方米空氣中塵埃粒子數量不超過10萬個;
100級潔凈室:每立方米空氣中塵埃粒子數量不超過100萬個。
風淋式傳遞窗的潔凈要求應與潔凈室等級相匹配,確保在傳遞過程中不會引入額外的污染物。

二、風淋式傳遞窗的工作原理
風淋式傳遞窗通過高速氣流對人員或物品進行吹淋,達到去除表面塵埃的目的。其工作原理如下:
人員或物品進入傳遞窗時,風淋系統啟動,高速氣流從上往下吹淋;
塵埃粒子在氣流作用下被吹離人員或物品表面,落入傳遞窗底部的塵埃收集器;
經過風淋處理后,人員或物品進入潔凈室,確保其表面潔凈度符合要求。

三、風淋式傳遞窗潔凈要求
風速要求:風淋式傳遞窗的風速應達到一定標準,以確保塵埃粒子能夠有效去除。通常,風速應控制在每分鐘25-30米之間。
風淋時間:風淋時間應足夠長,以確保塵埃粒子被充分吹離。根據實際需求,風淋時間一般在30秒至2分鐘之間。

密封性能:傳遞窗的密封性能至關重要,應確保在風淋過程中不會產生泄漏,防止塵埃進入潔凈室。

維護保養:定期對風淋式傳遞窗進行維護保養,包括更換過濾網、清潔塵埃收集器等,以保證其長期穩定運行。

與潔凈室配套:風淋式傳遞窗應與潔凈室的其他潔凈設備(如空氣過濾器、高效送風口系統等)相匹配,共同保證潔凈室的潔凈度。

總之,風淋式傳遞窗在半導體行業中的應用對于保證生產環境的潔凈度具有重要意義。了解并滿足其在潔凈要求方面的各項標準,有助于提高半導體產品的質量和生產效率。

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